上海简户仪器 TGV 玻璃基板恒温恒湿试验箱：长期环境稳定性验证的关键设备

上海简户仪器 TGV 玻璃基板恒温恒湿试验箱：长期环境稳定性验证的关键设备

一、从基板基材到 TGV 加工样品：恒温恒湿试验箱如何适配基板长期环境稳定性验证

半导体先进封装技术迭代持续推进，TGV 玻璃基板凭借自身材料特性，在高频高速封装场景获得越来越多的应用。不同加工深度的 TGV 玻璃基板，从原始玻璃基材、TGV 通孔半成品、表面处理基板样品，在材料界面、膜层结构上存在差异，对应的环境试验设备既有相通的测试诉求，也存在差异化的配置需要。

原始 TGV 玻璃基材，未开展通孔、金属化加工，材料体系单一，多用于基材长期环境稳定性评估。该状态下样品，对测试设备诉求集中在常规高低温测试、温度循环测试、长时间恒温恒湿测试等基础可靠性测试项目。

经过通孔刻蚀、表面镀膜处理后的 TGV 半成品基板，玻璃基材和镀膜层形成新的界面，内部结构变得复杂，对于温湿度长期应力作用较为敏感，对测试设备的温度精度、腔体内温湿度均匀性、温变速率等指标提出更高的要求。测试项目也有所增加，除常规长时间温湿度测试之外，还可以开展快速温变测试、冷热冲击测试等应力测试项目。

完成金属布线、介质层堆叠的 TGV 加工基板，属于行业研发和早期验证阶段的样品。基板内部多层异质材料界面叠加，在长时间温湿度应力作用下容易发生材料性能漂移，对测试设备的温湿度长期控制表现、腔体气流分布、振动抑制等方面，都提出更高的要求。同时样品外形、晶圆载具的形态和原始基材存在区别，对试验箱腔体尺寸、内部承载结构设计，也带来新的设计诉求。

不同加工状态的 TGV 玻璃基板样品，测试诉求虽有区别，但对于试验设备的基础诉求趋于一致：温度区间覆盖范围宽、控温表现稳定、腔体内温湿度均匀、设备可以长时间连续运行、功能模块可按需调整。上海简户仪器作为国内环境试验设备领域的企业，针对 TGV 玻璃基板不同阶段的长期稳定性测试诉求，搭建适配的试验箱产品体系，可覆盖基材、半成品、加工基板不同形态样品的长期环境稳定性验证工作。

二、上海简户仪器 TGV 玻璃基板试验箱全系列覆盖

上海简户仪器依托自身多年环境设备研发制造积累，形成 JH‑GD 系列高低温试验箱、JH‑HS 系列恒温恒湿试验箱、JH‑KS 系列快速温变试验箱、JH‑CJ 系列冷热冲击试验机的产品矩阵，提供多种腔体容积与配置选项，可以灵活匹配不同形态 TGV 玻璃基板样品的长期稳定性测试工作。

（一）多系列产品，覆盖全场景测试诉求

上海简户仪器 TGV 玻璃基板试验箱包含多个产品系列，适配不同测试项目以及不同应力等级的测试工作。

JH‑GD 系列标准高低温试验箱作为基础机型，适配常规高低温测试、长时间温度循环测试等试验场景，设备运行平稳，操作流程简洁，可支持长时间不间断运行。面向原始 TGV 玻璃基材的基础长期稳定性评估，JH‑GD 系列可以承担相关测试工作。

JH‑HS 系列恒温恒湿试验箱，在高低温功能基础之上增加湿度调控模块，完成长时间温湿度耦合条件下的测试工作，可以执行 “双 85" 这类长时间可靠性测试标准。面向各阶段 TGV 玻璃基板样品的长期温湿度耦合稳定性评估，JH‑HS 系列可以提供对应的设备方案。

JH‑KS 系列快速温湿度变化箱侧重快速温变能力，温变速率最高可达 15℃/min（非线性），可以完成加速温度应力试验，缩短部分循环试验的周期。面向半成品、加工完成的 TGV 基板研发阶段需要多轮次验证的场景，JH‑KS 系列能够辅助产品迭代推进。

JH‑CJ 系列冷热冲击试验机用于冷热冲击试验，将样品在高温、低温两个温度区间快速切换，评估样品承受温度剧烈切换带来的应力变化的能力。面向经过多道制程加工、需要做多维度应力评估的 TGV 基板样品，冷热冲击属于一项重要的验证项目。

（二）多容积规格，适配不同尺寸和测试批量

不同加工状态的 TGV 玻璃基板，样品尺寸存在差异，同时研发、中试、批量可靠性验证的样品数量也各不相同。上海简户仪器 TGV 玻璃基板试验箱提供多款容积规格，容积从几十升至上千升，适配玻璃基材片、TGV 半成品基板、加工完成基板不同大小的样品，兼顾小批量研发试验到大批量检测的不同使用场景。

小容积机型适合研发阶段小批量样品测试，设备占地空间小，能耗水平适中，便于在实验室内摆放布置。针对 TGV 基板研发初期，开展小样品长时间稳定性验证的场景，小容积机型是性价比较高的选择。

大容积机型面向批量验证场景，可同时放置更多样品，提升试验效率，降低单一样品对应的测试成本。面向 TGV 玻璃基板批量长期稳定性抽检工作，大容积机型可以保障试验开展效率。

腔体内部配置可调节多层样品架，用户可以结合样品外形尺寸、放置数量，调整搁板的位置与层数，充分利用腔体内部空间。结合 TGV 玻璃基板、各类基板载具的外形结构，上海简户仪器还可以提供定制化样品架方案，保障样品摆放稳固，腔体内部气流流通均衡，保障长时间试验条件均匀。

（三）灵活配置，满足差异化需求

不同加工阶段的 TGV 玻璃基板，对应的长期环境稳定性测试诉求各有区别，设备功能配置也可以按需调整。上海简户仪器 TGV 玻璃基板试验箱提供丰富选配件以及非标定制服务，结合客户实际测试条件完成配置调整，匹配差异化的使用场景。

测试接口层面，设备预留标准测试孔，便于各类信号线、监测引线接入腔体内部，满足长时间在线监测需要。用户可以挑选不同孔径、不同位置、不同数量的测试孔，上海简户仪器也可以根据项目需求完成定制化开孔设计。

数据采集层面，设备自带长时间温湿度曲线记录以及运行状态存储功能，留存完整试验过程数据。如果需要采集更多维度试验数据，可增加外置数据采集接口与对应模块，便于对客户自有测试系统，适配长时间试验的数据追溯诉求。

特殊配置层面，针对加工完成基板热负载偏高的长时间测试场景，可以选配强化散热结构、大电流引线组件；对于有洁净度管控要求的基板测试环境，可以选用不锈钢内胆、空气过滤组件；针对基板光学观测类长时间测试场景，可以增加低振动结构、隔振配套组件。同时设备具备多重保护逻辑，适配数百小时连续不间断试验工况。

三、上海简户仪器紧跟 TGV 玻璃基板技术发展

上海简户仪器长期参与半导体可靠性测试设备开发，持续跟进玻璃基基板行业发展动态，调整设备性能表现，推出适配新工艺测试条件的设备方案。

在传统玻璃基板测试阶段，上海简户仪器已经布局玻璃基板测试相关设备，推出高低温箱、恒温恒湿箱等设备，应用于各类显示、半导体玻璃基材的研发与长时间可靠性检测工作。在项目合作过程中，了解玻璃类基板样品长时间试验的测试难点，积累对应的行业实操经验。

进入 TGV 玻璃基板加工应用阶段，上海简户仪器跟进工艺发展趋势，针对通孔、镀膜后的 TGV 基板的长期稳定性测试诉求，对设备做相应的调整优化。一方面优化控温精度、腔体均匀性，优化设备长时间连续运行稳定性，匹配 TGV 基板样品对环境条件的要求；另一方面扩充快速温变箱、冷热冲击试验机等机型，丰富设备选型，为客户提供多维度的测试设备方案。

面向 TGV 玻璃基板规模化制程应用阶段，上海简户仪器开展前期技术储备，持续跟进 TGV 工艺演进和长期稳定性测试条件变化。研发团队和半导体行业客户保持沟通，了解 TGV 玻璃基板样品长时间环境试验的测试难点，完成技术储备和产品规划，当行业测试需求释放时，可以交付适配的设备方案。

除此之外，上海简户仪器参与行业交流活动，和半导体产业链企业、科研机构、行业协会开展交流协作，一同推进半导体环境可靠性测试技术的发展。

四、简户仪器品牌保障与服务体系

简户仪器为上海简户仪器设备有限公司自有环境试验设备品牌，专注于环境可靠性测试设备与配套方案的提供。上海简户仪器设备有限公司在环境试验设备领域积累多年研发生产经验，产品覆盖高低温试验箱、恒温恒湿箱、快速温变箱、冷热冲击箱、老化箱等品类，在电子、半导体、汽车、航空航天等行业均有实际应用案例。

技术研发层面，上海简户仪器组建专职研发团队，持续开展技术调试迭代，优化设备实际表现。TGV 玻璃基板系列试验箱，针对制冷系统、风道结构、控温算法、长时间运行稳定性等部分做反复调试，让设备在连续运行表现、能耗表现等方面适配半导体基板长期稳定性测试场景的使用诉求。

产品质量层面，上海简户仪器搭建完整的质量管理流程，原材料采购、零部件加工、整机出厂检验各环节做好过程管控。压缩机、控制器、传感器这类关键零部件选用市面主流品牌配件，保障设备运行表现与使用周期。每台设备出厂前，完成多维度性能调试与校验，包含长时间连续运行测试，保障各项指标达到设计标准。

售后服务层面，上海简户仪器搭建覆盖国内多地的服务网络，在半导体产业集中区域设置服务网点，向客户提供及时的技术支持与设备维修服务。可以提供设备安装调试、操作人员培训、周期性维护、故障处理等全周期服务，保障设备维持较好运行状态。同时还可以提供设备校准、计量相关配套服务，协助客户适配实验室认可、质量管理体系相关要求，适配长时间试验的数据合规诉求。

五、结语

随着 TGV 玻璃基板技术向前推进，从原始基材、TGV 半成品再到加工完成基板，样品制程持续变化，长时间环境稳定性试验对环境试验设备的使用条件也随之调整。上海简户仪器搭建多系列、多容积、可配置调整的 TGV 玻璃基板试验箱产品矩阵，适配不同加工阶段 TGV 玻璃基板样品的长期环境稳定性验证工作，为半导体行业客户提供对应的环境测试设备方案。

上海简户仪器设备有限公司将持续跟进半导体玻璃基板行业发展，持续开展设备技术调试，优化产品表现与配套服务，和半导体产业链上下游企业协同，助力 TGV 基板相关产业稳步发展。

关于我们

上海简户仪器设备有限公司是一家高科技合资企业,专业生产销售盐雾箱、恒温恒湿机、冷热冲击机、振动试验机、机械冲击机、跌落试验机的环境试验仪器的公司，是一家具有研发生产销售经营各类可靠性环境试验设备的公司。经验丰富，并得到许多国内外厂商的信赖与支持。

上海简户仪器设备有限公司是一家高科技合资企业,生产销售盐雾箱、恒温恒湿机、冷热冲击机、振动试验机、机械冲击机、跌落试验机的环境试验仪器的公司，研发生产销售经营各类可靠性环境试验设备。经验丰富，并得到许多国内外厂商的信赖与支持。自公司成立以来,多次服务于国内外大学和研究所等检测机构,如清华大学、苏州大学、哈尔滨工业大学、北京工业大学、法国申美检测、中科院物理所、中科院，SGS等**单位提供实施室方案和设备及其相关服务。努力开发半导体、光电、光通讯、航天太空、生物科技、食品、化工、制药等行业产品所需的测试设备装置。公司拥有一支的研发、生产和售後队伍，从产品的研发到售后服务，每一个环节都以客户的观点与需求作为思考的出发点。

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• 　上海简户荣获企业，表明上海简户在技术、科技成果转化、拥有自主知识产权等方面得到了国家的高度认可。简户一直秉承"服务以人为本"的宗旨，为广大客户提供精良的设备及优质的服务，提供的送货上门、安装调试、一年的设备保养、终身维修，技术指导服务。始终如一的以"努力、合作、飞跃"的精神自我*、不断发展、让客户与公司实现双赢局面。
  

• 简户是集设计、销售、研发、维修服务等为一体的综合集团公司，从产品的研发到售后服务，每一个环节之间，都以客户的观点与需求作为思考的出发点，提供的环境设备。公司创始人从事仪器设备行业20余年，经验丰富、资历雄厚，带领简户公司全体同仁携手共建辉煌明天。公司成立以来，积极投入电子电工，航空，航天，生物科技，各大院校，及科研单位等行业所需的产品测试设备装置。
  

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• 简户拥有一支的研发、生产和售后服务队伍，从产品的研发到售后服务，每一个环节都以客户的观点与需求作为思考的出发点，目前拥有博士学位2人，硕士5人，参与环境试验箱国家标准起草和发行。企业制定标准，行业里通过ISO9001。是中国仪器仪表学会会员和理事单位。曾荣获CCTV《中国仪器仪表20强品牌》殊荣，2010年入驻上海世博会民企馆。简户自创办以来，参与3项国家标准起草与制定，获得40+件原创知识产权、软著、集成电路)，6次获得上海科技型中小企业称号，合作过3200+家合作客户(其中世界500强高校600家)。