集成电路高低温试验箱 晶圆级芯可靠性验证设备

简户仪器集成电路高低温试验箱：为晶圆级芯片提供可靠性验证

上海简户仪器集成电路高低温试验箱：为晶圆级芯片提供全温域长期运行可靠性验证

一、晶圆级集成电路芯片全温域长期运行的环境敏感性

晶圆级集成电路涵盖逻辑芯片、MCU、功率 IC、存储晶圆、专用 ASIC 芯片，广泛应用于消费电子、工业控制、数据中心、汽车电子、航空航天等领域。不管是裸片晶圆，

集成电路高低温试验箱 晶圆级芯片可靠性验证设备

简户仪器集成电路高低温试验箱：为晶圆级芯片提供可靠性验证

上海简户仪器集成电路高低温试验箱：为晶圆级芯片提供全温域长期运行可靠性验证

一、晶圆级集成电路芯片全温域长期运行的环境敏感性

晶圆级集成电路涵盖逻辑芯片、MCU、功率 IC、存储晶圆、专用 ASIC 芯片，广泛应用于消费电子、工业控制、数据中心、汽车电子、航空航天等领域。不管是裸片晶圆，还是经过封装成型的集成电路成品，芯片长期运行的可靠性，直接决定整机设备工作稳定性、服役寿命。

晶圆级集成电路芯片对长期宽温域工况十分敏感。高温长期运行条件下，晶体管漏电加剧，阈值电压漂移，介质层老化加速，器件性能持续衰减；低温长期工况，内部驱动电路时序窗口收缩，信号建立时间偏移，容易发生功能报错。在真实应用场景，集成电路需要承受跨度极大温度环境：工业设备常年不间断负载运行，车载芯片经受极寒与酷暑，航天类器件面对高低温环境。

晶圆芯片由硅基底、多层介质薄膜、金属布线、钝化层等多种材质堆叠而成，各类材料热膨胀系数存在差异。长期反复高低温交替运行过程中，材料持续胀缩，界面承受交变应力，随着运行时间累积，可能出现金属布线疲劳断裂、介质层微裂纹、钝化层损伤等慢性失效。这类失效不会短期显现，需要通过长时间全温域模拟运行测试，复现长期使用应力，评估芯片真实耐久性能。因此，芯片在研发鉴定、质量认证阶段，必须开展全温域长期运行可靠性验证。

二、上海简户仪器 JH?IC 系列：上海智造晶圆级集成电路长期可靠性测试设备

上海简户仪器深耕环境可靠性设备研发制造，产品线覆盖高低温试验箱、温度循环试验箱、快速温变试验箱、冷热冲击试验箱等三十余种环境模拟设备。JH?IC 系列集成电路高低温试验箱为简户自有 JH 品牌，完整承担研发制造、产品销售与全国售后运维服务。

JH?IC 系列集成电路高低温试验箱面向晶圆级芯片、集成电路器件长期可靠性验证打造，采用单槽一体化腔体设计，全部长期温变试验在同一腔体内连续完成，晶圆与芯片样品无需腔体之间转运，保障成千上万小时试验过程温度工况连续稳定，杜绝样品移动带来的温度跳变，满足 7×24 小时不间断长期可靠性试验要求。

制冷系统采用二元复叠式风冷制冷架构，高温级、低温级两套制冷循环协同工作，常规测试不需要液氮辅助冷却，稳定实现?70℃超低温输出，设备适合长时间不间断连续运行，降低长期试验运行成本与维护频次。

控制系统搭载工业级触摸屏控制器，支持可编程 1200 段温变循环，支持大循环嵌套长时间持续运行，内置 JEDEC JESD22?A104、JESD22?A119A 等集成电路行业标准预设参数。支持扫码录入晶圆 / 芯片批次号，长期试验过程持续记录工况，试验结束自动生成附带合格 / 不合格判定的 PDF 报告，接入企业芯片全生命周期质量追溯体系。

三、核心参数：稳定精准温控保障晶圆级芯片长期运行可靠性验证有效性

简户 JH?IC 系列集成电路高低温试验箱核心性能参数如下：

温度范围：?70℃至 + 150℃。标准机型 220℃宽温区间，完整覆盖晶圆裸片存储、集成电路高低温长期老化、温度循环耐久验证各类工况。JH?IC?180、JH?IC?400、JH?IC?600、JH?IC?800、JH?IC?1000 全系列机型均支持该温域。

温度波动度：≤±0.5℃。即使数千小时不间断连续运行，恒温阶段腔体温度依旧保持高度稳定，避免温度漂移干扰长期可靠性评估结果。

温度偏差：±2.0℃，严格控制设定温度与腔体实际温度差值，保障长期试验每一轮温度条件符合标准规范。

温度变化速率：5℃/min、10℃/min、15℃/min、20℃/min、25℃/min 五档速率，支持线性、非线性温变模式；速率有效区间?55℃~+125℃；选配液氮辅助制冷模块，降温速率最高可达 30℃/min。

容积规格：标准容积 80L、150L、225L、408L、800L、1000L；80L?8000L 非标腔体支持定制，适配晶圆载盒、芯片托盘批量摆放，满足多样品并行长期可靠性试验。

计量校准：温度显示精度 ±0.5℃，计量可溯源 CNAS 校准；整机拥有 ISO9001、CE、RoHS 认证，适配实验室、封测产线长时间不间断试验场景。

≤±0.5℃温度波动度，保障批量晶圆、集成电路样品长期试验承受一致温度应力；±2.0℃温度偏差保证设定工况与腔体实际环境误差可控。设备可以稳定执行数百至上万小时不间断全温域测试，工况长期保持一致，保障晶圆级芯片长期运行可靠性评估数据真实可信。

四、晶圆级集成电路全温域长期运行可靠性典型应用方案

JH?IC 系列设备，覆盖集成电路芯片研发鉴定、工艺评估、认证测试、量产可靠性摸底全场景长期验证需求。

JEDEC JESD22?A104 长期温度循环耐久验证：JESD22?A104 是集成电路通用温度循环标准，通过大量连续高低温循环，评估晶圆芯片、集成电路封装长期耐受温度交变应力的能力。典型条件?40℃~+85℃、?40℃~+125℃，单循环包含升温、高温驻留、降温、低温驻留。JH?IC 宽温域完整覆盖标准全部条件，设备支持 7×24 小时不间断自动运行，完成大次数循环耐久测试。

JEDEC JESD22?A119A 长期低温贮存可靠性验证：JESD22?A119A 用于评估晶圆级芯片长期低温存储环境下介质层、金属布线的退化情况，试验不加电应力，模拟芯片仓储、运输阶段长期低温环境，JH?IC 稳定?70℃低温输出，满足标准长期贮存试验条件。

DUT 被测器件测温模式长期带电可靠性测试：针对晶圆级芯片长期带电运行验证，外接 T/K 型热电偶直接采集晶圆、芯片本体真实温度，而非腔体空气温度，消除腔体?器件温差，在全温域条件下长时间带电运行，监测芯片电气性能随时间的衰减变化。

集成电路与 ATE/IC 测试系统联动长期联合测试：JH?IC 预留标准化通讯接口，可对接主流 ATE、内存 IC 测试系统，在长期高低温工况下，持续采集集成电路阈值电压、漏电流、时序参数等关键电气指标，复现实际长期运行状态；兼容程式循环模式、DUT 试样测温模式。

车规集成电路 AEC?Q100 长期可靠性验证：面向车规级晶圆级芯片，按照 AEC?Q100 要求开展?40℃~+125℃全温域长期温度循环与带负载老化，验证芯片在车载复杂温度环境中长期运行稳定性，支撑车规芯片认证。

五、数据追溯与大批量集成电路长期测试能力

晶圆级集成电路长期可靠性验证，往往需要多片晶圆、多颗芯片并行开展上千小时试验，获取具备统计意义的可靠性数据。JH?IC 系列配备可调节多层托盘，适配晶圆载具、芯片料盘灵活配置；408L、800L、1000L 大容积机型，支持大批量样品同步开展全温域长期可靠性验证。

数据采集单元搭载简户自研高精度铂电阻传感器，毫秒级响应，采样频率 10 次 / 秒。在数千小时不间断长期温变试验中，每一秒温度变化完整记录；无需上位机，USB 接口直接导出全部历史温度曲线。

设备标配 RS485、以太网通讯接口，支持 OPC UA、Modbus?TCP 协议，温度曲线、温变速率、驻留时长、试验判定等数据实时上传 MES 制造执行系统。支持扫码录入晶圆、芯片批次号，长期试验结束自动生成 PDF 报告，完整纳入集成电路芯片质量追溯链条。

六、结语

晶圆级集成电路全温域长期运行可靠性验证，对试验设备长时间连续运行稳定性、控温精度、温场均匀性有着严苛的要求，设备性能直接决定长期可靠性评估结果是否有效。

上海简户仪器 JH?IC 系列集成电路高低温试验箱，依托?70℃~+150℃宽温域、≤±0.5℃温度波动度、±2.0℃温度偏差、5?25℃/min 多档温变速率，为晶圆级芯片提供全温域长期运行可靠性验证完整硬件支撑。设备兼容 JEDEC JESD22?A104、JESD22?A119A 标准，DUT 试样测温模式，支持对接主流 ATE 与 IC 测试系统，适配逻辑 IC、功率芯片、存储晶圆、车规集成电路的研发鉴定与认证测试。扎根上海面向全国半导体产业，JH?IC 系列已经成为国产集成电路长期可靠性验证的重要装备。

关于我们

上海简户仪器设备有限公司是一家高科技合资企业,专业生产销售盐雾箱、恒温恒湿机、冷热冲击机、振动试验机、机械冲击机、跌落试验机的环境试验仪器的公司，是一家具有研发生产销售经营各类可靠性环境试验设备的公司。经验丰富，并得到许多国内外厂商的信赖与支持。

上海简户仪器设备有限公司是一家高科技合资企业,生产销售盐雾箱、恒温恒湿机、冷热冲击机、振动试验机、机械冲击机、跌落试验机的环境试验仪器的公司，研发生产销售经营各类可靠性环境试验设备。经验丰富，并得到许多国内外厂商的信赖与支持。自公司成立以来,多次服务于国内外大学和研究所等检测机构,如清华大学、苏州大学、哈尔滨工业大学、北京工业大学、法国申美检测、中科院物理所、中科院，SGS等**单位提供实施室方案和设备及其相关服务。努力开发半导体、光电、光通讯、航天太空、生物科技、食品、化工、制药等行业产品所需的测试设备装置。公司拥有一支的研发、生产和售後队伍，从产品的研发到售后服务，每一个环节都以客户的观点与需求作为思考的出发点。

• 

• 
  

• 　上海简户荣获企业，表明上海简户在技术、科技成果转化、拥有自主知识产权等方面得到了国家的高度认可。简户一直秉承"服务以人为本"的宗旨，为广大客户提供精良的设备及优质的服务，提供的送货上门、安装调试、一年的设备保养、终身维修，技术指导服务。始终如一的以"努力、合作、飞跃"的精神自我*、不断发展、让客户与公司实现双赢局面。
  

• 简户是集设计、销售、研发、维修服务等为一体的综合集团公司，从产品的研发到售后服务，每一个环节之间，都以客户的观点与需求作为思考的出发点，提供的环境设备。公司创始人从事仪器设备行业20余年，经验丰富、资历雄厚，带领简户公司全体同仁携手共建辉煌明天。公司成立以来，积极投入电子电工，航空，航天，生物科技，各大院校，及科研单位等行业所需的产品测试设备装置。
  

• 
  

• 简户拥有一支的研发、生产和售后服务队伍，从产品的研发到售后服务，每一个环节都以客户的观点与需求作为思考的出发点，目前拥有博士学位2人，硕士5人，参与环境试验箱国家标准起草和发行。企业制定标准，行业里通过ISO9001。是中国仪器仪表学会会员和理事单位。曾荣获CCTV《中国仪器仪表20强品牌》殊荣，2010年入驻上海世博会民企馆。简户自创办以来，参与3项国家标准起草与制定，获得40+件原创知识产权、软著、集成电路)，6次获得上海科技型中小企业称号，合作过3200+家合作客户(其中世界500强高校600家)。